従来のステンレス鋼センサに比べて2倍以上の高圧対応が可能であり、4倍以上の感度を示す金属ガラス製圧力センサの開発に成功した。このセンサはニッケルを主成分とした高圧対応型とジルコニウムを主成分とした高感度型で、既に開発済みの金属ガラスに適した歪ゲージ蒸着技術を併せて平成19年度の産業化を目指す。成果は日本経済新聞、読売新聞、河北新報をはじめとする全国10誌に発表(5月10日付)され、東北放送、ミヤギテレビでも紹介された。
井上グループ (非平衡物質工学研究部門)
2004/05/31