新しいレーザーCVD法を開発し、ガスタービン翼の熱遮蔽コーティングのために必要 なセラミックス(ジルコニア)膜を毎時600μmの高速で作製することに成功した。通 常のCVDでのジルコニアの成膜速度は1~50μm/hであり、高出力のレーザー照射により 飛躍的な成膜速度の向上が達成され、プラズマ溶射やEB-PVDなどの実用プロセスより も速い。大面積、複雑形状部品へのコーティングも可能で、作製された膜の耐食性、 熱衝撃特性も優れている。この成果は、日本工業新聞(10月28日付)に一面トップ記 事として紹介された。
後藤グループ (溶解凝固制御工学研究部門)