プレスリリース・研究成果

汎用製造技術を用いた酸化亜鉛系紫外発光ダイオードの高輝度化を実現

  

超構造薄膜化学部門(川崎グループ)はローム株式会社および多元物質科学研究所と共同で半導体素子製造の汎用技術である分子線エピタキシー法を用いて酸化亜鉛(ZnO)系紫外発光ダイオードの作製とその高輝度化に成功しました。今回の素子には導電性ZnO基板が使用されており、今後の安価な短波長発行素子応用につながる成果といえます。本成果は米国学術誌「Applied Physics Letters」への掲載に先立ち電子版で公開(米国時間7月6日)され、2010年6月30日付の日経産業新聞・日刊工業新聞、7月2日付の河北新報などでも紹介されました。

酸化亜鉛(ZnO)系紫外発光ダイオード

酸化亜鉛(ZnO)系紫外発光ダイオード

川崎グループ(超構造薄膜化学部門)