材料プロセス・評価研究部

　様々な分野で利用されている材料の特性は、数原子レベルでの構造、組成および結合状態の揺らぎに起因することが多く、その揺らぎを素早く、正確に把握する必要があります．材料中でのわずかな揺らぎの測定には、原子レベルの分解能と1原子測定を可能とする感度が必要です。本部門では、透過電子顕微鏡や走査電子顕微鏡による材料の微細構造解析に加え、X線エネルギー分散分光法や電子損失分光法を利用した高分解能での元素組成および状態分析を行っています。さらに、レーザ誘起プラズマ発光分析法による軽元素(H, Li, O, N) 分布測定法、カソードルミネッセンス現象を利用した元素分析法およびスッパタリング中の発光を利用した薄膜組成のオンライン元素分析法の開発し、材料研究に応用しています。