材料プロセス・評価研究部

　本部門は材料開発とその特性発現のメカニズム解明に必要とされる、元素分析を中心とした新しい機器分析法の研究開発を行っています。特に固体試料を対象とした直接定量分析法の確立は現在の元素分析の大きな課題であり、この実現のために放電プラズマ励起源を使用したプラズマ分光法による装置開発を行っている。また、工業材料の高速分析法および軽元素(水素、リチウム、窒素、酸素)分布測定法として、レーザ誘起プラズマを利用した発光分析法に注目し、減圧レーザ誘起プラズマを用いた分析装置やイメージ測光型の分光分析装置を提案している。各種分光分析用プラズマ等の分光特性の解明などの基礎研究も併せて行っており、励起機構に関する研究成果を公表している。さらに、カソードルミネッセンス現象を利用した元素分析、オンサイト・オンライン分析のための小型分析装置の開発、高感度分光器を用いた原子吸光分析手法の開発やX線光電子分光法を用いた表面分析を研究課題としています。