材料プロセス・評価研究部

分析科学研究部門

Tetsu ICHITSUBO

教授(兼)市坪 哲

  • 教授 渡邉 万三志
  • 准教授 今宿 晋

材料特性解明のためのナノ微細構造解析と化学分析手法の開発と応用

 様々な分野で利用されている材料の特性は、数原子レベルでの構造、組成および結合状態の揺らぎに起因することが多く、その揺らぎを素早く、正確に把握する必要があります.材料中でのわずかな揺らぎの測定には、原子レベルの分解能と1原子測定を可能とする感度が必要です。本部門では、透過電子顕微鏡や走査電子顕微鏡による材料の微細構造解析に加え、X線エネルギー分散分光法や電子損失分光法を利用した高分解能での元素組成および状態分析を行っています。さらに、レーザ誘起プラズマ発光分析法による軽元素(H, Li, O, N) 分布測定法、カソードルミネッセンス現象を利用した元素分析法およびスッパタリング中の発光を利用した薄膜組成のオンライン元素分析法の開発し、材料研究に応用しています。

電子顕微鏡、分光法、材料キャラクタリゼーション
高角暗視野STEMによる銅結晶粒界中のビスマス原子偏析の直接観察

高角暗視野STEM結像法による銅結晶粒界中のビスマス原子偏析の直接観察

高分解能STEM-XEDSによるチタン酸ストロンチウムの原子分解元素マップ

高分解能STEM-XEDS法によるチタン酸ストロンチウムの原子分解元素マップ

レーザー誘起プラズマ(左)より得られた発光スペクトル(右)

レーザー誘起プラズマ(左)より得られた発光スペクトル(右)

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