材料プロセス・評価研究部

複合機能材料学研究部門

Takashi GOTO

教授後藤 孝

  • 助教 キテワン メタヤー
  • 助教 李 穎
  • 特任准教授(兼) 且井 宏和

新しい高機能セラミックスの開発を目指して

誘電体セラミックス、イオン伝導性セラミックス、熱電変換セラミックスなどは、エネルギー・環境問題を解決するための重要な機能材料です。本部門では、これらの機能材料をより高性能にするための研究や、幾つかの機能を合わせ持った複合機能材料を開発するための研究を行っています。セラミックス粉体の固相反応焼結や溶融させたセラミックスの凝固の過程での相分離、多元系のMOCVDやプラズマスパッタにおける気相からの共析出などを利用して複合化を行い、新しい高性能複合機能材料を作り出すことに取り組んでいます。

化学気相析出、溶融凝固、焼結、微細組織、セラミックス
レーザーCVD プロセスにより合成されたイットリア安定化ジルコニア膜の断面

レーザーCVD プロセスにより合成されたイットリア安定化ジルコニア膜の断面観察像。本研究部門で独自に開発したレーザーCVD 法は、結晶性の優れた各種酸化物および非酸化物膜を600μmh-1 以上の極めて高速に合成することができる。

デバイス構造と耐久性の設計に重要な機械的特性の精密評価

回転CVD プロセスによりダイヤモンド微細粉末表面にコーチングしたSiC 膜のTEM 明視野像。独自に開発した回転CVD 法は、数μmサイズの微細粉末の表面を均質な数nm~数100 nm の膜で覆うことができる。

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